曰韓成人午夜影院|青草国产在线伊人|四虎在线视频|噜噜噜在线观看91

招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2024-11-14在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 等離子體原子層沉積系統(tǒng)（JJ2024002440）采購公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時聯(lián)系項目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 打印公告等（略）（JJ（略））采購公告發(fā)布時間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）閱讀量：（略）?次項目名稱等（略）項目編號JJ（略）公告開始日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）公告截止日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）采購單位南開大學(xué)付款方式合同簽定生效后，預(yù)付合同總額的（略）%；貨物到達(dá)需方指定地點并安裝驗收合格，雙方簽字確認(rèn)后，七個工作日內(nèi)（略）合同總額的（略）%余款。聯(lián)系人成交后在我參與的項目中查看聯(lián)系電話成交后在我參與的項目中查看簽約時間要求到貨時間要求按照合同約定執(zhí)行預(yù)算總價NaN+NaN+NaN未公布發(fā)票要求增值稅普通發(fā)票增值稅專用發(fā)票含稅要求送貨要求安裝要求收貨地址南開大學(xué)（略）電子信（略）采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件公告說明采購清單1采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類等（略）1臺無無品牌品牌1普迪真空型號PDALD-PE（略）B品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?NaN技術(shù)參數(shù)及配置要求鋁型材機架和防指紋不銹鋼面板，（略）寸懸停式觸摸屏操作；樣品臺尺寸：最大可放置8英寸樣品，兼容8inch及以下樣品尺寸；★樣品加熱：真空內(nèi)鎧裝加熱盤，8英寸內(nèi)樣品表面加熱溫度最高可達(dá)（略）℃，溫度控制精度±0.5℃；加熱器表面設(shè)置有鋁片托；★反應(yīng)腔室：開蓋式反應(yīng)腔室設(shè)計，腔室由不銹鋼主腔體和鋁上腔蓋及與鋁源連接的遠(yuǎn)程等離子體反應(yīng)室組成，不銹鋼腔室電解拋光處理，鋁腔室內(nèi)外表面陽極氧化處理；真空腔室真空漏率小于5*（略）-（略）Pa.m3s（略）：遠(yuǎn)程射頻感應(yīng)（略）（RemoteICP），射頻電源功率最高（略）W，搭載全自動射頻匹配器；等離子體產(chǎn)生腔室與樣品臺的距離不小于（略）mm，配置2（略）獨立的等離子體氣體質(zhì)量流量計（氮氫混合氣和氧氣），另預(yù)留1（略）氣體接口，流量控制精度小于滿量程的1（略）：配置高性能雙極旋片真空泵，抽速≥（略）m3h，滿足對本底真空和原子層沉積工藝的要求；真空計：配置MKS高性能寬量程陶瓷和皮拉尼復(fù)合真空計用于壓強變化的實時監(jiān)測，壓力檢測范圍為（略）-5~（略）Torr；★獨立前驅(qū)體源：前驅(qū)體源全部放置于型材機柜內(nèi)，金屬前驅(qū)體源和水前驅(qū)體源采用兩個獨立的進氣口輸運到真空反應(yīng)腔室，（略）配置獨立的吹掃流量（略）；在未進入反應(yīng)腔室前不能混合，避免前驅(qū)體源在（略）到發(fā)生交叉污染；前驅(qū)體源（略）最大加熱溫度可達(dá)到（略）℃，溫度控制精度±0.5℃；前（略）數(shù)：4（略）加熱前驅(qū)體源和1（略）常溫前驅(qū)體源，（略）的最大加熱溫度可達(dá)到（略）℃，溫度控制精度±0.5℃。（略）源配ALD專用閥門，高溫手動隔膜閥和（略）mL不銹鋼源瓶；吹掃流量計：2（略），控制精度小于滿量程的1%，重復(fù)精度小于滿量程的±0.2%；★控制硬件：PLC+4U工控機+觸摸屏操作，可連續(xù)（略）小時安全運行，具有溫度異常（略）和硬件自鎖功能和壓縮空氣欠壓報警功能，充（略）保護儀器的運行安全；自動控制（略）：可以用（略）在計算機上設(shè)定薄膜沉積條件及工藝參數(shù)，能全自動（略）運行中的各個參數(shù)；控制設(shè)備的各個單（略）包括真空泵、前驅(qū)體源、加熱溫度、氣體流量、沉積壓強以及配方參數(shù)運行狀態(tài)等；控制（略）能夠記錄閥門開關(guān)次數(shù)和累計運行次數(shù)；電源：（略）V三相五線交流電源，功率（略）KW；★沉積非均勻性：在8英寸晶圓上，（略）℃沉積溫度下，水基氧化鋁沉積（略）cycle厚氧化鋁薄膜，以晶圓上9個均勻（略）散點進行橢偏儀測試膜厚，氧化鋁膜厚非均勻性±1.5%；配套工藝：提供氧化鉿、氧化鋯、氧化鋁、氧化硅、氧化鋅、氧化鈦、氧化錫、氧化稼等氧化物等材料的沉積工藝。參考鏈接售后服務(wù)按國家法定或行業(yè)要求提供售后服務(wù)。南開大學(xué)（略）-（略）-（略）:（略）:（略）查看內(nèi)容