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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2024-12-03在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 東南大學(xué)集成電路學(xué)院12寸等離子增強(qiáng)氣相沉積采購項(xiàng)目公開招標(biāo)公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 項(xiàng)目概況東南大學(xué)（略）寸等離子增強(qiáng)氣相沉積采購項(xiàng)目招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)（略）址（略）https:（略）.com獲取招標(biāo)文件，并于（略）年（略）月（略）日（略）點(diǎn)（略）（北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。一、項(xiàng)目基本情況項(xiàng)目編號(hào)：JC（略）項(xiàng)目名稱：東南大學(xué)（略）寸等離子增強(qiáng)氣相沉積采購項(xiàng)目預(yù)算金額：（略）.（略）（人民幣）最高限價(jià)（如有）：（略）.（略）（人民幣）采購需求：項(xiàng)目地址：（略）1套，主要技術(shù)要求如下:1.設(shè)備功能：實(shí)現(xiàn)直徑（略）寸及以下尺寸晶圓表面的薄膜沉積，包括SiOx、SiCN、SiCOH等類型薄膜的沉積。2.含有設(shè)備前端模塊（EFEM一套，其內(nèi)部配備有全自動(dòng)機(jī)械手用于取放晶圓，外圍有高效過濾器（FFU控制空氣潔凈度，有3個(gè)晶圓盒承載臺(tái)和6（略）。3.含有工藝腔體（PM）不少于3個(gè)，各自含有1套獨(dú)立完（略）的（略），均可獨(dú)立加工直徑為（略）寸及以下尺寸的晶圓。4.三個(gè)PM可（略）別實(shí)現(xiàn)化學(xué)組（略）為SiCOH、SiCN、SiO的薄膜沉積。每個(gè)PM各自配備一個(gè)專用（略）。5.（略）寸晶圓內(nèi)完成SiCOH薄膜沉積后，晶圓表面全部面積范圍內(nèi)直徑為0.（略）μm以上的顆粒數(shù)量不超過（略）個(gè)。6.在（略）寸晶圓上沉積SiO薄膜，最大厚度可超過（略）μm，薄膜完（略）無缺陷，無開裂、脫層等缺陷。本項(xiàng)目不接受進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo)，技術(shù)參數(shù)詳見招標(biāo)文件。合同履行期限：合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)設(shè)備安裝調(diào)試合格。本項(xiàng)目?不接受?聯(lián)合體投標(biāo)。二、申請人的資格要求：1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：無3.本項(xiàng)目的特定資格要求：3.1滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；（1）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力（提供法人或者其他組織的營業(yè)執(zhí)照；供應(yīng)商為自然人的，提供其（略））；（2）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度（提供（略）年度的財(cái)務(wù)報(bào)告，或投標(biāo)截止時(shí)間前六個(gè)月內(nèi)銀行出具的資信證明）；（3）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力（供應(yīng)商根據(jù)履行采購項(xiàng)目合同需要，提供履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力的證明材料）；（4）有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金（略）采購活動(dòng)前半年內(nèi)至少一個(gè)月：提供繳納稅收的憑證；提供繳納社會(huì)保險(xiǎn)的憑據(jù)），依法享受免繳、緩繳的，提供證明材料；（5）參加政府采購活動(dòng)前三年內(nèi)，在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄（提供承諾書）；（6）法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件：無3.2落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：無3.3采購人根據(jù)采購項(xiàng)目的特殊要求規(guī)定的特定條件，并提供符合特殊要求的證明材料或者情況說明：無。3.4第3.1（5）條所稱重大違法記錄，是指供應(yīng)商因違法經(jīng)營受到刑事處罰或者責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、吊銷許可證或者執(zhí)照、較大數(shù)額罰款等行政處罰。3.5供應(yīng)商在參加政府采購活動(dòng)前3年內(nèi)因違法經(jīng)（略）采購活（略）采購活動(dòng)。3.6單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商（略）采購活動(dòng)。為采購項(xiàng)目提供（略）體設(shè)計(jì)、規(guī)范編制或者項(xiàng)目管理、監(jiān)理、檢測等服務(wù)的供應(yīng)商，不得再參加該采購項(xiàng)目的其他采購活動(dòng)。3.7拒絕列入失信被執(zhí)行人、重大（略）采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單及其（略）采購法》第二十（略）采購活動(dòng)。采購人或者采購代理機(jī)構(gòu)在進(jìn)行資格審查的同時(shí)，依法通（略）查詢投標(biāo)人信用記錄并保存。三、獲取招標(biāo)文件時(shí)間：（略）年（略）月（略）日?至?（略）年（略）月（略）日，每天上午9:（略）至（略）:（略），下午（略）:（略）至（略）:（略）。（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）（略）址（略）https:（略）.com方式：（1）凡有意參加投標(biāo)者，請于獲?。裕┌凑找筮M(jìn)行實(shí)名會(huì)員（略）、完善相關(guān)信息及選擇項(xiàng)目（略）址（略）http:（略）.com（略）免費(fèi)（略），（略）成功且完善相關(guān)信息（略）上所有發(fā)布的項(xiàng)目。（2）（略）、信息檢查、資料（略）、購標(biāo)確認(rèn)、費(fèi)用（略）所需時(shí)間，（略）者必須在獲取時(shí)間內(nèi)完成（略），否則將無法保證獲取招標(biāo)文件。未按照本公告要求獲得本項(xiàng)目招標(biāo)文件的，招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)不予接收其投標(biāo)文件。（3）（略）者需（略）“資金管理”模塊進(jìn)行操作。招標(biāo)文件服務(wù)費(fèi)發(fā)票由招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開具；（略）者選擇開具增值稅普通發(fā)票的，可在”資金管理--標(biāo)書費(fèi)電子發(fā)票”（略）增值稅電子普通發(fā)票；選擇開具增值稅專用發(fā)票的，可在”資金管理--專用發(fā)票申請”（略）開具。非（略）原因，發(fā)票一經(jīng)開具不予退換。（4（略）”提供操作手冊，（略）者可以（略）并根據(jù)操作手冊提示進(jìn)行（略）、登（略）技術(shù)支持聯(lián)系方式供應(yīng)商技術(shù)支持熱線：（略）-（略）-（略）（工作時(shí)間：9:（略）-（略）:（略）,（略）:（略）-（略）:（略））供應(yīng)商項(xiàng)目參與操作說明：https:（略）.comuploadlink（略）e1dd（略）-（略）-4bbf-bfc9-a0d7a（略）ba1c.pdf技術(shù)支持服務(wù)態(tài)度不滿意投訴熱線：（略）-（略）-（略）轉(zhuǎn)0。（5）聯(lián)合體投標(biāo)（如允許）的，聯(lián)合體各方應(yīng)當(dāng)指定牽頭人，并授（略）、（略）、繳納保（略）的（略）行為，對聯(lián)合體各方均具有約束力。售價(jià)：￥（略）.0（略），本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：（略）年（略）月（略）日（略）點(diǎn)（略）（北京時(shí)間）開標(biāo)時(shí)間：（略）年（略）月（略）日（略）點(diǎn)（略）（北京時(shí)間）地址：（略）1室投標(biāo)人因故未出席開標(biāo)會(huì)的，視同同意本項(xiàng)目開標(biāo)結(jié)果。五、公告期限自本公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日。六、其他補(bǔ)充事宜1、行業(yè)劃（略）：工業(yè)2、本項(xiàng)目非專門面向中小企業(yè)采購。3、本項(xiàng)目非專門面向監(jiān)獄企業(yè)采購。4、本項(xiàng)目非專門面向殘疾人福利性單位采購。5、投標(biāo)人應(yīng)提供投標(biāo)文件一式（略）份（正本（略）份、副本（略）份），所有投標(biāo)文件均應(yīng)密封后遞交，同時(shí)應(yīng)提供電子版投標(biāo)文件（略）份（電子版須為投標(biāo)文件正本（略）、簽字后形成PDF掃描件，掃描件內(nèi)容應(yīng)與紙質(zhì)投標(biāo)文件正本完全一致、U盤形式（單獨(dú)封裝）、隨紙質(zhì)正本文件一并提交）。當(dāng)（略）和紙質(zhì)正本文件不一致時(shí)，以紙質(zhì)正本文件為準(zhǔn)。電子版文（略）存檔，投標(biāo)人需承擔(dān)前述不一致造成的不利后果。6、本項(xiàng)（略）站發(fā)布公告。7、投標(biāo)人應(yīng)當(dāng)從采購代理機(jī)構(gòu)合法獲得招標(biāo)項(xiàng)目的招標(biāo)文件。本次招標(biāo)請按“標(biāo)段”獲取招標(biāo)文件，編制、提交投標(biāo)文件，并按“標(biāo)段”開標(biāo)、評標(biāo)。8、勘察（略）：無9、投標(biāo)人前來投標(biāo)的授權(quán)代表，必須為本單位員工，需提供投標(biāo)人為其繳納的截止至投標(biāo)截止時(shí)間前3個(gè)月的社保繳納證明材料。七、對本次招標(biāo)提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。1.采購人信息名稱：東南大學(xué)　　　　　地址：（略）2號(hào)　　　　　　　　聯(lián)系方式：（略）：李老師（略）-（略）；實(shí)驗(yàn)室與設(shè)備管理處：劉老師（略）-（略）?！　　　　　?.采購（略）　　　　　　　　　　　　地　址：（略）號(hào)（略）D棟9（略）室　　　　　　　　　　　　聯(lián)系方式：黃旭（略）-（略）、（略）　　　　　　　　　　　　3.項(xiàng)目聯(lián)系方式項(xiàng)目聯(lián)系人：（略）：　?。裕?（略）、（略）?。裕┎榭磧?nèi)容